TantaalikohteetYleensä ne ovat levyjen tai suorakaiteen muotoisia levyjä, mutta niistä voidaan myös valmistaa erilaisia muotoja ja kokoja riippuen sovelluksen erityisvaatimuksista. Sen tärkeimpiä rakenteellisia ominaisuuksia ovat:
Korkea puhtaus: yleensä yli 99,9 %, joskus jopa 99,999 %. Korkea puhtaus varmistaa, ettei ohutkalvopinnoitusprosessin aikana pääse sisään ei-toivottuja epäpuhtauksia.
Tasaisuus: Tantaalikohteissa on oltava yhtenäinen mikrorakenne, jotta varmistetaan tasainen materiaalin jakautuminen ohutkalvopinnoituksen aikana.
Suuri tiheys: Tiheyden tasaisuus on kriittinen stabiilisuuden varmistamiseksi laskeutumisen aikana.