Erittäin puhtaan tantaaliupokkaan puhtausluokitus ja sertifiointi
Erittäin puhdasta tantaaliupokasta määritetään puhtaudella, joka on suurempi tai yhtä suuri kuin 99,99 %, mikä eliminoi epäpuhtaudet ja täyttää erittäin -herkän materiaalin käsittelyn tiukat vaatimukset.
Puhtausasteet sisältävät 99,95 % (kaupallinen laatu), 99,98 % (analyyttinen laatu) ja 99,99 % (elektroninen/ydinlaatu). Sertifiointi GDMS:n (hohtopurkausmassaspektrometrian) tai ICP-MS:n (induktiivisesti kytketty plasmamassaspektrometria) avulla varmistaa epäpuhtaustason: esim. 99,99 % upokkaissa Fe on pienempi tai yhtä suuri kuin 5 ppm, Ni pienempi tai yhtä suuri kuin 3 ppm tai C Less.10 ppm. Tämä jäljitettävyys on kriittinen ilmailu-avaruussovelluksissa (sulattavat superseokset) tai puolijohdesovelluksissa (joissa käsitellään korkean{12}}k dielektrisiä aineita).
|
|
|
|
|
|---|---|---|---|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
99,95 % tantaaliupokkaat elektronisuihkuhaihduttimeen, laboratoriokäyttöinen Ta-upokas
Erittäin puhtaan tantaaliupokkaan valmistushaasteet
Valmistuksen-jälkeinen tyhjiöhehkutus (1500 astetta, 10⁻⁵ Pa) poistaa imeytyneet kaasut, mikä lisää puhtautta entisestään.
Suorituskyvyn edut kriittisissä sovelluksissa
Puolijohdeepitaksissa 99,99 % upokkaat estävät seostusaineen kontaminoitumisen (esim. Fe muuttaa piin sähköisiä ominaisuuksia). Ydinpolttoaineena ne sisältävät uraanioksidisulat ilman, että ne aiheuttavat neutroneja -absorboivia epäpuhtauksia (esim. B, Cd). Niiden alhainen poistumisaste (<10⁻⁹ Torr·L/s·cm²) also suits ultra-high-vacuum (UHV) systems, unlike lower-purity crucibles that release volatiles.
