Mikä on metallikohde?

Mikä on metallikohde?

Kohdemateriaali on yksi tärkeimmistä materiaaleista ohutkalvojen valmistuksessa. Sitä käytetään pääasiassa integroiduissa piireissä, litteissä näytöissä, aurinkokennoissa, tallennusvälineissä, älylasissa jne., ja sillä on korkeat vaatimukset materiaalin puhtaudelle ja vakaudelle.

Sputteroinnin kohdemateriaalin toimintaperiaate: Sputterointi on yksi tärkeimmistä tekniikoista ohutkalvomateriaalien valmistuksessa. Se käyttää ionilähteen tuottamia ioneja kiihdyttämiseen ja kerääntymiseen tyhjiöön muodostaen nopean-energia-ionisäteen pommittamaan kiinteää pintaa. Kiinteän pinnan ionit ja atomit vaihtavat kineettistä energiaa, jolloin kiinteän pinnan atomit poistuvat kiinteästä aineesta ja kerrostuvat alustan pinnalle. Pommitettu kiinteä aine on sputteroiva kohdemateriaali.

Kohdemateriaalien kehitystrendi on: korkea sputterointinopeus, rakeiden suuntauksen hallinta, suuri koko ja erittäin -puhtaus metalli.

Kohdemateriaali hitsataan "kohdeaihiolla" ja "selkälevyllä".

(1) Kohdeaihio on nopean-ionisäteen pommitettu kohdemateriaali. Se on ruiskutuskohdemateriaalin ydinosa ja sisältää erittäin-puhtausmetallin ja rakeiden suuntauksen hallinnan. Sputterointipäällystysprosessin aikana ionien osuman kohteena olevaan aihioon sen pintaatomit ruiskutetaan ja sirollaan ja kerrostuvat alustalle elektronisen ohuen kalvon muodostamiseksi.

(2) Takalevyllä on tärkeä rooli sputterointikohteen kiinnittämisessä, johon liittyy hitsausprosesseja. Koska korkean -puhtausmetallien lujuus on alhainen, sputterointikohde on asennettava erityiseen koneeseen ruiskutusprosessin loppuunsaattamiseksi. Kone on korkea-jännitteisessä ja korkea{5}}tyhjiöympäristössä. Siksi ultra-korkean-puhtausmetallin ruiskutuskohdeaihio on liitettävä takalevyyn eri hitsausprosesseilla. Takalevyn tulee olla hyvä sähkö- ja lämmönjohtavuus.